Verbundprojekt: Hochgenaues optisches Aerosolspektrometer mit hohem Durchfluss zur verbesserten Qualitätssicherung von Reinräumen; Teilprojekt: Entwicklung und Aufbau des neuen optischen Aerosol-Spektrometers

Für industrielle Reinraum-Produktionslinien, in denen z.B. pharmazeutische Produkte hergestellt werden, besteht ein wachsender Bedarf an hochgenauen Partikelzählgeräten. Sie dienen der Qualitätssicherung und dem Monitoring des Reinraumbetriebs. Im HILAS-Projekt wird ein optisches Aerosolspektrometer entwickelt, welches eine deutlich erhöhte Messgenauigkeit und Größenauflösung gegenüber bestehenden Reinraum-Partikelzählern aufweist. Es soll Partikel zwischen 0,3 und 5 µm Durchmesser bei Volumenströmen von bis zu 28,3 l/min selektiv detektieren können, wobei insbesondere die Messungenauigkeit und Stabilität im Bereich 0,5 µm großer Partikel deutlich verbessert werden sollen.