Das Ziel von TRANSFORM besteht im Aufbau einer vollständigen und äußerst wettbewerbsfähigen europäischen Lieferkette für den besonderen und anspruchsvollen Bereich der Leistungselektronik auf Basis von Siliziumkarbid (SiC)-Leistungshalbleitern. Ein Kernelement stellt hierfür die SMART-CUT™ Technologie zur günstigen Herstellung von SiC-Wafersubstraten dar, um die sehr teure aktive Schicht aus m-SiC auf mehrere p-SiC-Substrate applizieren zu können und damit die Herstellkosten drastisch zu senken. Die Entwicklung dieser Substrate im Labormaßstab wird im Projekt TRANSFORM durch Saint-Gobain Resarch Provence vorangetrieben. Ziel dieses Teilvorhabens ist es für den vorher genannten Laborprozess eine Pilotlinie mit einer Kapazität von 500 Substraten pro Monat mit einem Durchmesse von 150 mm (6") bei Saint-Gobain IndustrieKeramik Rödental GmbH (SGIK) zu konzipieren, installieren und in Betrieb zu nehmen. Herausfordernd sind dabei die Anforderungen an die chemische Reinheit, die die elektrischen Eigenschaften stark beeinflussen und vor allem an die Dimensionen wie Dicke (350 µm) und Durchbiegung (< 40 µm). Letztere ist extrem wichtig, da die Substrate bei einem Projektpartner (NOVASiC) auf eine Endrauhigkeit von 0,5 nm poliert werden müssen. Für den Transfer des Laborprozesses auf die Pilotline kommen, um die zuvor genannten Anforderungen zu erfüllen, zwei Hauptvorgehensweisen zum Einsatz. 1. Modifikation und Adaption von vorhandenem Wissen und Equipment und 2. die Entwicklung und Implementierung von völlig neuartigen und innovativen Herstellungsverfahren, wie z.B. SPS-Sintering. Durch die lange Erfahrung im Umgang Keramiken und insbesondere dem Werkstoff SiC von mehr als 160 Jahren und der internationalen Vernetzung mit den Produktionsstätten und Entwicklungszentren der Saint-Gobain Gruppe sind hierfür bei SGIK beste Voraussetzungen für eine erfolgreiche Umsetzung des Teilprojektvorhabens gegeben.
Verbundprojekt: Vertrauenswürdige europäische SiC-Lieferkette für energieeffiziente Leistungselektronik - TRANSFORM
            
                
                    Laufzeit:
                    01.05.2021
                    
                        - 30.04.2023
                    
                
            
            
                
                    Förderkennzeichen: 16MEE0139
                
            
            
            
        
			
				
						
								
									Koordinator: SAINT-GOBAIN IndustrieKeramik Rödental GmbH
								
						
				
    
    
                        
    
	
	
	
			
					
            
            
            
                
                    Verbund:
                    Vertrauenswürdige europäische SiC-Lieferkette für energieeffiziente Leistungselektronik
                
            
            
            
                
                    Quelle:
                    Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)
                
            
            
				
					Redaktion:
					
					
              
                DLR Projektträger
              
						
				
            
			
				Länder / Organisationen:
				
					
					
				
					
					Österreich
				
					
					Tschechische Republik
				
					
					Spanien
				
					
					Frankreich
				
					
					Italien
				
					
					Schweden
				
					
					
				
					
					
				
			
			
				Themen:
        
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
                Förderung
              
            
				
          
              
                Information u. Kommunikation
              
            
				
			
            
            
            
		
	
    
	
        
	
    
    
		
    
            
                    
                            
																
																	Weitere Informationen
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