Das übergeordnete Ziel von TRANSFORM ist der Aufbau einer vollständigen und wettbewerbsfähigen europäischen Lieferkette für Leistungselektronik auf Basis von Siliziumkarbid (SiC)-Leistungshalbleitern. Centrotherm wird unter Transform seine 200mm Prototyp Annealing Anlage weiterentwickeln und verbessern. Diese Beta State Anlage wird bei FhG IISB dem Konsortium zur Verfügung gestellt, um dort Material- und Prozessentwicklung für 200mm SmartCut SiC Wafer zu ermöglichen. Außerdem sollen diverse wichtige Prozessmodule in Zusammenarbeit mit FhG IISB und anderen Partnern weiter entwickelt werden, z.B. In-line Monitoring, APC, C-cap, Gate Oxide, In-situ cleaning und Trench Glättung. Damit soll Qualität, Kontrolle und Produktivität der centrotherm SiC Anlagen und der darauf laufenden Prozesse weiter optimiert werden.
Verbundprojekt: Vertrauenswürdige europäische SiC-Lieferkette für energieeffiziente Leistungselektronik - TRANSFORM -
            
                
                    Laufzeit:
                    01.05.2021
                    
                        - 31.10.2024
                    
                
            
            
                
                    Förderkennzeichen: 16MEE0132
                
            
            
            
        
			
				
						
								
									Koordinator: centrotherm international AG
								
						
				
    
    
                        
    
	
	
	
			
					
            
            
            
                
                    Verbund:
                    Vertrauenswürdige europäische SiC-Lieferkette für energieeffiziente Leistungselektronik
                
            
            
            
                
                    Quelle:
                    Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)
                
            
            
				
					Redaktion:
					
					
              
                DLR Projektträger
              
						
				
            
			
				Länder / Organisationen:
				
					
					
				
					
					Österreich
				
					
					Tschechische Republik
				
					
					Spanien
				
					
					Frankreich
				
					
					Italien
				
					
					Schweden
				
					
					
				
					
					
				
			
			
				Themen:
        
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
                Förderung
              
            
				
          
              
                Information u. Kommunikation
              
            
				
			
            
            
            
		
	
    
	
        
	
    
    
		
    
            
                    
                            
																
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