PacTech trägt mit seinem Wissen zur stromlosen Abscheidung von Ni/Au-Schichten und zum Platzieren von Lötkugeln bei. Mit der reduzierten Waferdicke besteht der nächste Schritt darin, die Packagedicke zu reduzieren, wobei PacTech Wissen und Prozesse für UBM mit kleineren Lotkugeln und das Galvanisieren von Kupferbumps mit Lotkappen bereitstellen kann. Die derzeitige durchschnittliche Höhe von UBM- und Lötdepots liegt bei etwa 150 µm. Durch die Reduzierung des Lotdepots kann die Höhe bereits auf 60 µm reduziert werden. Mit Kupferhöckern und Lötstopfen kann eine Höhe von unter 40 µm erreicht werden. Zusammen mit der Entwicklung für Prozesse zur Reduzierung der Packagedicke muss die Handhabung für das Handling dünner Wafer optimiert werden. Dies kann durch die Unterstützung von Prozessen wie temporäres Wafer-Bonden oder die Verbesserung des Roboterhandlings erreicht werden.
Verbundprojekt: Fertigung fortschrittlicher Gehäusetechnologien für europäische Optoelektronik - APPLAUSE -; Teilvorhaben: Neue Prozessentwicklung für ultradünne Wafer mit reduzierter Packagedicke
            
                
                    Laufzeit:
                    01.07.2019
                    
                        - 31.10.2022
                    
                
            
            
                
                    Förderkennzeichen: 16ESE0349
                
            
            
            
        
			
				
						
								
									Koordinator: Pac Tech - Packaging Technologies GmbH
								
						
				
    
    
                        
    
	
	
	
			
					
            
            
            
                
                    Verbund:
                    Fertigung fortschrittlicher Gehäusetechnologien für europäische Optoelektronik
                
            
            
            
                
                    Quelle:
                    Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)
                
            
            
				
					Redaktion:
					
					
              
                DLR Projektträger
              
						
				
            
			
				Länder / Organisationen:
				
					
					
				
					
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				Themen:
        
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
                Förderung
              
            
				
          
              
                Information u. Kommunikation
              
            
				
			
            
            
            
		
	
    
	
        
	
    
    
		
    
            
                    
                            
																
																	Weitere Informationen
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