Gesamtziel des Projektes MICROPRINCE besteht im Aufbau und der Demonstration einer Mikro-Transfer-Druck-Pilotlinie für funktionale elektronische Komponenten (III/V Halbleiter, Optische Filter, Sensoren) auf Wafer-Level mit Zielstellung innovative Systemintegration. Das Gesamtkonsortium unterstützt dabei den Transfer des wissenschaftlichen Knowhows in eine industrielle Pilotanlagenfertigung. Neben der Demonstration der allgemeinen Prozessfähigkeit erfolgt die spezifische Anwendung an fünf Applikationsbeispielen innerhalb des Projektkonsortiums. Das FhG IMWS unterstützt im Teilvorhaben die Prozessentwicklung durch die Expertise der Fehleranalytik und Mikrostrukturanalyse und konzentriert sich anschließend auf die Bewertung der Zuverlässigkeitseigenschaften der Applikationsbeispiele, um mögliche Risiken aufzudecken bzw. die allgemeine Akzeptanz durch gesicherte Zuverlässigkeitseigenschaften sicherzustellen. Eine Zielsetzung des FhG ISIT ist die Erforschung innovativer More-than-Moore-Technologien auf 200mm Wafern. Dazu gehört die heterogene Integration funktionaler Chips aus anderen Halbleitermaterialien auf Standard-Siliziumsubstraten und die hybride Montage einzelner III-V-Chips mit aktiven optischen Bauelementen.
Verbundprojekt: Mikrotransferdruck-Pilotlinie zur flexiblen Herstellung komplexer mikroelektronischer Systeme - MICROPRINCE -; Teilvorhaben: µTP-Post-Processing transferierter Bauteile und allgemeine Zuverlässigkeits- / Technologiecharakterisierung
            
                
                    Laufzeit:
                    01.04.2017
                    
                        - 30.09.2020
                    
                
            
            
                
                    Förderkennzeichen: 16ESE0230
                
            
            
            
        
			
				
						
								
									Koordinator: Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen (IMWS)
								
						
				
    
    
                        
    
	
	
	
			
					
            
            
            
                
                    Verbund:
                    Mikrotransferdruck-Pilotlinie zur flexiblen Herstellung komplexer mikroelektronischer Systeme
                
            
            
            
                
                    Quelle:
                    Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)
                
            
            
				
					Redaktion:
					
					
              
                DLR Projektträger
              
						
				
            
			
				Länder / Organisationen:
				
					
					
				
					
					Österreich
				
					
					Irland
				
					
					
				
					
					
				
			
			
				Themen:
        
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
                Förderung
              
            
				
          
              
                Information u. Kommunikation
              
            
				
			
            
            
            
		
	
    
	
        
	
    
    
		
    
            
                    
                            
																
																	Weitere Informationen
Weitere Teilprojekte des Verbundes
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