Verbundprojekt: MEMS-basierte katalytische Sensoren für brennbare Gase; Teilprojekttitel: Katalytische Sensoren für brennbare Gase

Ziel des Entwicklungsprojektes ist die Realisierung eines neuen kostengünstigen Low-Power-Gassensors für die Früherkennung von brennbaren Gasen oder explosiven Gasgemischen zur Vermeidung von Gefährdungen von Menschenleben, Schäden an Anlagen und Verlusten bei Erdgastransporten. Dafür werden neue innovative Kombination von Materialien und Technologien entwickelt und untersucht. Durch die Entwicklung neuer katalytisch-aktiver Materialien werden eine niedrigere Arbeitstemperatur und damit eine Reduzierung der potentiellen Vergiftungsgefahr sowie ein gesicherter Explosionsschutz bei gleichzeitig geringerem Stromverbrauch erwartet. Zudem wird durch die Entwicklung spezieller MEMS-basierten Hotplate-Strukturen und die Anwendung nicht-kontinuierlichen Betriebsformen zur Erwärmung des katalytisch-aktiven Materials eine weitere Reduzierung des Stromverbrauchs ermöglicht. So wird ein energieeffizienter, kostengünstiger und stabiler Gassensor zur qualitativen Detektion von brennbaren Gasen wie z.B. Methan in industriellen Anwendungen entwickelt. Im Rahmen des Kooperationsprojektes ist bei Micro-Sensor die Entwicklung von kalibrierten OEM-Modulen auf der Basis der neuartigen Gassensoren zur perspektivischen Erschließung breiterer industrieller Anwendungen geplant. Dabei kann Micro-Sensor für die Entwicklung angepasster Technologien und Prozesse der Aufbau- und Verbindungstechnik zur Realisierung neuartiger Packagingvarianten auf das Know-How von Micro-Hybrid zurückgreifen umso die Entwicklung von MEMS-basierten katalytischen Gassensoren voranzutreiben. Dabei ist Micro-Sensor für die Umsetzung in Prototypen und Demonstratoren verantwortlich. Weiterhin werden einerseits die Entwicklungsarbeiten von CMOS-IR und IPM zur Realisierung der sensitiven Chipkomponenten begleitet und unterstützt. Andererseits ist eine aktive Unterstützung und enge Zusammenarbeit mit Sensotran zur Entwicklung des neuartigen tragbaren Gasdetektors vereinbart.