Im Teilvorhaben entwickelt die Creavac GmbH eine Anlage bzw. Anlagenkomponenten für die Abscheidung von GaN durch Puls-Sputter. Da zu Beginn des Vorhabens die genauen Parameter nicht feststehen, muss die Anlage sehr flexibel ausgelegt werden. Im Rahmen der FuE-Arbeiten sind material- und anlagentechnische Fragestellungen zu bearbeiten, die im Anschluss prozesstechnisch umgesetzt werden sollen. Dies gescheit vor allem beim Projektpartner FhG FEP. Ziel ist es, Einzel- als auch Mehrfachschichten durch gepulste Sputter herstellen zu können.