Das mit knapp 55 Millionen Euro geförderte Projekt GENESIS wird im Rahmen von Chips Joint Undertaking für drei Jahre von der Europäischen Kommission, den teilnehmenden EU-Mitgliedstaaten und dem Schweizer Staatssekretariat für Bildung, Forschung und Innovation kofinanziert. Koordiniert wird es vom französischen Institut CEA-Leti und bringt 58 Partner aus der gesamten europäischen Halbleiter-Wertschöpfungskette zusammen, von großen Industrieunternehmen und KMU bis hin zu Forschungsinstituten, Universitäten und Industrieverbänden. Im Projekt werden innovative Lösungen in den Bereichen Emissionskontrolle, umweltfreundliche Materialien und Alternativen zu PFAS-basierten Materialien, Abfallminimierung und Wiederverwendung von Rohstoffen vorangetrieben, die im Einklang mit dem Europäischen Green Deal und dem EU Chips Act stehen.
Das Projekt beeinhaltet vier strategische Säulen, die die technologische Grundlage der GENESIS-Vision für eine grüne europäische Halbleiterindustrie bilden:
- Säule 1 - Überwachung und Sensorik: Verfolgung von Emissionen in Echtzeit, Rückverfolgbarkeit und Prozess-Feedback-Systeme,
- Säule 2 - Neue Materialien: PFAS-freie Chemikalien und GWP-arme Alternativen für fortschrittliche Halbleiterprozesse,
- Säule 3 - Abfallminimierung: Innovationen in den Bereichen Recycling (Lösungsmittel, Gase, Schlämme), Wiederverwendung und nachhaltige Ersatzstoffe und
- Säule 4 - Verringerung kritischer Rohstoffe: Strategien zur Verringerung der Abhängigkeit von CRM und zur Stärkung der Ressourcensicherheit.
Das Fraunhofer IPMS leitet eines der zentralen Arbeitspakete im Projekt zur Minimierung von chemischen Abfällen und zur Emissionsreduktion. Darüber hinaus untersucht das Institut die Substitution von schädlichen Materialien und Stoffen, die in der Halbleiterproduktion eingesetzt werden. Der Fokus liegt dabei auf PFAS-Chemikalien (per- und polyfluorierte Alkylsubstanzen) und klimaschädlichen Gasen innerhalb des BOSCH-Prozesses. Der entsprechende Arbeitsbereich untersucht und verbessert Recyclingtechniken und Abgasreinigungssysteme, bis hin zur Entwicklung von neueren und effizienteren Reinigungssystemen.
Zum Nachlesen
- Fraunhofer IPMS (06.06.2025): Projekt GENESIS minimiert ökologischen Fußabdruck der europäischen Halbleiterindustrie
