Das FA2IR-Projekt wird wichtige Anwendungen von Methoden der Künstlichen Intelligenz (KI) auf Datenbanken in der mikroelektronischen Fehleranalyse (FA) untersuchen. Dazu gehört die Tiefenauswertung von Daten, z. B. das Auffinden und Kennzeichnen von Fehlern in Bildern sowie das Auffinden von Analyseberichten, die diese beschreiben. Die neuartigen Methoden werden zu kürzeren Entwicklungszeiten für neue Produkte, einer schnelleren und präziseren Reaktion auf Ausfälle im Feld sowie zu einer verbesserten Zusammenarbeit zwischen den Partnern der Wertschöpfungskette durch einen offenen Ansatz führen. Ziel dieses Projektes ist es, FA-Datenbanken KI-fähig zu machen und verbesserte FA4.0-KI-basierte Methoden zu entwickeln, z.B. für die Analyse von Bild- und Messdaten, Textklassifikation, etc. Obwohl KI Gegenstand verschiedener FA-bezogener Veröffentlichungen ist, ist der Ansatz dieses Projekts in Bezug auf die Datenbanklandschaft durch die Umsetzung des FAIR-Datenprinzips (Findable, Accessible, Interoperable, Reusable) einzigartig. Wir werden ein universell akzeptiertes Datenformat erforschen und einsetzen, das Unternehmen und Zulieferern einen einfachen Datenaustausch ermöglicht und gleichzeitig den wirksamen Schutz von geistigem Eigentum und vertraulichen Daten gewährleistet. Die neuartigen und verbesserten Datenbanklandschaften werden mit dem in der FA-Ontologie gespeicherten Expertenwissen kombiniert, um die Standardisierung von Daten und die Interoperabilität von Datenbanken zu gewährleisten. In diesem Projekt will PVA TePla AS neuartige Signalverarbeitungstechniken entwickeln, die auf maschinellem Lernen und synthetischer Apertur basieren, um eine 3D-Rekonstruktion von Proben mit Hilfe der akustischen Rastermikroskopie (SAM) durchzuführen. PVA TePla AS ist bestrebt, mit den sich rasant entwickelnden Anforderungen der Fehleranalyse in der Halbleiterindustrie Schritt zu halten, indem scharfe Bilder in beliebiger Tiefe bei kurzer Scanzeit gewonnen werden.
Verbundprojekt: Zuverlässigkeit und Qualität in der Mikroelektronikfertigung durch KI-basierte Fehleranalyse - FA2IR -
            
                
                    Laufzeit:
                    01.06.2024
                    
                        - 31.01.2027
                    
                
            
            
                
                    Förderkennzeichen: 16ME0923
                
            
            
            
        
			
				
						
								
									Koordinator: PVA TePla Analytical Systems GmbH
								
						
				
    
    
                        
    
	
	
	
			
					
            
            
            
                
                    Verbund:
                    Zuverlässigkeit und Qualität in der Mikroelektronikfertigung durch KI-basierte Fehleranalyse
                
            
            
            
                
                    Quelle:
                    Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF)
                
            
            
				
					Redaktion:
					
					
              
                DLR Projektträger
              
						
				
            
			
				Länder / Organisationen:
				
					
					
				
					
					Niederlande
				
					
					Schweden
				
					
					
				
					
					
				
			
			
				Themen:
        
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
            
				
          
              
                Förderung
              
            
				
          
              
                Information u. Kommunikation
              
            
				
			
            
            
            
		
	
    
	
        
	
    
    
		
    
            
                    
                            
																
																	Weitere Informationen
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